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白光干涉薄膜厚度测量仪Delta

产品特点

快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

应用案例

应用领域

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半导体(SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS,SOI等)???????? LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)????????????? LED (SiO2、光刻胶ITO等)


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触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)??????????????????????????? 汽车(防雾层、Hard Coating DLC等)????????????????????????? ? 医学(聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等)

技术参数

型号

Delta-VIS

Delta-DUV

Delta-NIR

波长范围

380-1050nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范围

50nm-40um

1nm-30um

10um-3mm

准确度1

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

样品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

测量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸2

2mm

2mm

2mm

是否能在线

扫描选择

XY可选

XY可选

XY可选

注:1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。

2.?可选微光斑附件。


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